HIGH SPATIAL-RESOLUTION SECONDARY ION MASS-SPECTROMETRY WITH PARALLEL DETECTION SYSTEM

被引：27

作者：

NIHEI, Y ^{[1
]}

SATOH, H ^{[1
]}

TATSUZAWA, S ^{[1
]}

OWARI, M ^{[1
]}

ATAKA, M ^{[1
]}

AIHARA, R ^{[1
]}

AZUMA, K ^{[1
]}

KAMMEI, Y ^{[1
]}

机构：

[1] JEOL LTD,TOKYO 196,JAPAN

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.574784

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：1254 / 1257

页数：4