KINETICS OF THIN-FILM GROWTH UNDER HIGH ADATOM CONCENTRATIONS

被引：6

作者：

ALEKSANDROV, LN ^{[1
]}

ENTIN, IA ^{[1
]}

机构：

[1] ACAD SCI USSR,SEMICOND PHYS INST,NOVOSIBIRSK,USSR

来源：

PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1977年 / 39卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1002/pssa.2210390138

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：327 / 330

页数：4

共 11 条

[1]

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