Cathode sputtering

被引：5

作者：

Cartwright, CH ^{[1
]}

机构：

[1] Calif Inst Technol, Norman Bridge Lab Phys, Pasadena, CA USA

来源：

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1930年 / 1卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1748664

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：758 / 763

页数：6

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共 2 条

[1]

Blechschmidt E, 1926, ANN PHYS-BERLIN, V81, P999

[2]

1927, HDB EXP PHYS, V14, P643