REACTIVELY SPUTTERED TIN OXIDE THIN-FILM GAS SENSORS - CORRELATION BETWEEN FABRICATION PARAMETERS AND CO-SENSITIVITY

被引：12

作者：

HUBNER, HP ^{[1
]}

OBERMEIER, E ^{[1
]}

机构：

[1] FRAUNHOFER INST FESTKORPERTECHNOL,D-8000 MUNICH 60,FED REP GER

来源：

SENSORS AND ACTUATORS | 1989年 / 17卷 / 3-4期

关键词：

D O I：

10.1016/0250-6874(89)80021-6

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

引用

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页数：4