ON STRUCTURE AND PROPERTIES OF SPUTTERED TI AND AL BASED HARD COMPOUND FILMS

被引：362

作者：

KNOTEK, O ^{[1
]}

BOHMER, M ^{[1
]}

LEYENDECKER, T ^{[1
]}

机构：

[1] RHEIN WESTFAL TH AACHEN,INST WERKSTOFFKUNDE,D-5100 AACHEN,FED REP GER

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1986年 / 4卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.573708

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：2695 / 2700

页数：6

共 15 条

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