PARAMETRIC STUDY OF SILICON-CARBIDE COATINGS DEPOSITED IN A FLUIDIZED-BED

被引：30

作者：

FEDERER, JI ^{[1
]}

机构：

[1] OAK RIDGE NATL LAB,DIV MAT & CERAM,OAK RIDGE,TN 37830

来源：

THIN SOLID FILMS | 1977年 / 40卷 / JAN期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(77)90106-7

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：89 / 96

页数：8

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