PREPARATION OF THIN BATIO3 FILMS BY DC DIODE SPUTTERING

被引:64
作者
SHINTANI, Y
TADA, O
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1659232
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:2376 / &
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