DYNAMICS OF A RF SHEATH IN THE RANGE BETWEEN THE IONIC AND THE ELECTRONIC PLASMA FREQUENCIES

被引：24

作者：

POINTU, AM

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.98236

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：316 / 317

页数：2

共 6 条

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