SYNTHESIS OF AROMATIC POLYIMIDE FILM BY VACUUM DEPOSITION POLYMERIZATION

被引：136

作者：

TAKAHASHI, Y

IIJIMA, M

INAGAWA, K

ITOH, A

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.574429

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页码：2253 / 2256

页数：4

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共 4 条

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