SYNTHESIS OF AROMATIC POLYIMIDE FILM BY VACUUM DEPOSITION POLYMERIZATION

被引:136
作者
TAKAHASHI, Y
IIJIMA, M
INAGAWA, K
ITOH, A
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.574429
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页码:2253 / 2256
页数:4
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