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SYNTHESIS OF AROMATIC POLYIMIDE FILM BY VACUUM DEPOSITION POLYMERIZATION
被引:136
作者
:
TAKAHASHI, Y
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TAKAHASHI, Y
IIJIMA, M
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IIJIMA, M
INAGAWA, K
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INAGAWA, K
ITOH, A
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ITOH, A
机构
:
来源
:
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS
|
1987年
/ 5卷
/ 04期
关键词
:
D O I
:
10.1116/1.574429
中图分类号
:
TB3 [工程材料学];
学科分类号
:
0805 ;
080502 ;
摘要
:
引用
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页码:2253 / 2256
页数:4
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共 4 条
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CHARACTERIZATION OF THE IMIDIZATION OF THE AROMATIC POLYIMIDE LARC-160
DELOS, SE
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DELOS, SE
SCHELLENBERG, RK
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SCHELLENBERG, RK
SMEDLEY, JE
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SMEDLEY, JE
KRANBUEHL, DE
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KRANBUEHL, DE
[J].
JOURNAL OF APPLIED POLYMER SCIENCE,
1982,
27
(11)
: 4295
-
4311
[2]
HAYAKAWA S, 1982, HAKUMAKUKAGIJUTSU, P185
[3]
IIDA K, 1983, T IEE JPN, V103, P111
[4]
IJIMA M, 1984, 25TH P VAC C JAP
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CHARACTERIZATION OF THE IMIDIZATION OF THE AROMATIC POLYIMIDE LARC-160
DELOS, SE
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DELOS, SE
SCHELLENBERG, RK
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SCHELLENBERG, RK
SMEDLEY, JE
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SMEDLEY, JE
KRANBUEHL, DE
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KRANBUEHL, DE
[J].
JOURNAL OF APPLIED POLYMER SCIENCE,
1982,
27
(11)
: 4295
-
4311
[2]
HAYAKAWA S, 1982, HAKUMAKUKAGIJUTSU, P185
[3]
IIDA K, 1983, T IEE JPN, V103, P111
[4]
IJIMA M, 1984, 25TH P VAC C JAP
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