ASYMMETRIC IMPLANTATION SELF-ALIGNMENT TECHNIQUE FOR GAAS-MESFETS

被引：3

作者：

KIMURA, T ^{[1
]}

INOKUCHI, K ^{[1
]}

AKIYAMA, M ^{[1
]}

SAKUTA, M ^{[1
]}

机构：

[1] OKI ELECT IND CO LTD, RES & DEV GRP, HACHIOJI, TOKYO 193, JAPAN

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS | 1988年 / 27卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.27.L1340

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：L1340 / L1343

页数：4