INTRODUCTION TO CLOSED FIELD SPUTTERING (CFS) EQUIPMENT

被引：1

作者：

SUGDEN, GB

机构：

[1] The General Engineering Co (Radcliffe) Limited, Manchester, M26 9UR, Bury Road, Radcliffe

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(79)90313-0

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

页码：351 / 356

页数：6