LIGHT-GUIDING STRUCTURES OF PHOTORESIST FILMS

被引:24
作者
WEBER, HW
TOMLINSON, WJ
ULRICH, R
CHANDROSS, EA
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1654082
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:1
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