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EXCIMER-LASER-INDUCED ABLATION OF THIN SELENIUM FILMS
被引:3
作者
:
JADIN, A
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JADIN, A
WAUTELET, M
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WAUTELET, M
LAUDE, LD
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LAUDE, LD
机构
:
来源
:
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY
|
1988年
/ 3卷
/ 05期
关键词
:
D O I
:
10.1088/0268-1242/3/5/014
中图分类号
:
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
:
0808 ;
0809 ;
摘要
:
引用
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页码:499 / 505
页数:7
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