FACTORS AFFECTING INITIAL NUCLEATION OF ALUMINA ON CEMENTED-CARBIDE SUBSTRATES IN CVD PROCESS

被引:8
作者
JOHANNESSON, TR [1 ]
LINDSTROM, JN [1 ]
机构
[1] SANDVIK AB,COROMANT RES CTR,S-126-12 STOCKHOLM,SWEDEN
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.568687
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:854 / 857
页数:4
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共 3 条
  • [1] CAMPBELL WB, 1966, CHEM ENG PROG, V62, P68
  • [2] FUNK R, 1975, J CRYSTAL GROWTH, V28, P259
  • [3] [No title captured]