A ROBUST PRODUCTION CONTROL POLICY FOR VLSI WAFER FABRICATION

被引：51

作者：

LOU, SXC

KAGER, PW

机构：

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING | 1989年 / 2卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1109/66.44620

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：159 / 164

页数：6

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