COMPARISON OF TI AND CR GETTERING

被引：8

作者：

SIMPKINS, JE

MIODUSZEWSKI, P

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 20卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.571593

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1321 / 1321

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共 2 条

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