ION-IMPLANTATION IN TRIBOLOGY AND CORROSION SCIENCE

被引：89

作者：

HIRVONEN, JK

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1978年 / 15卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569825

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1662 / 1668

页数：7

共 50 条

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