ACOUSTIC WAVE ANALYSIS OF OPERATION OF QUARTZ-CRYSTAL FILM-THICKNESS MONITORS

被引：82

作者：

MILLER, JG

BOLEF, DI

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1656066

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：5815 / &

共 8 条

[1] BEHRNDT KH, 1966, VACUUM MICROBALAN ED, V5
[2] BEHRNDT KH, 1960, 7 VAC S T, P87
[3] SENSITIVITY ENHANCEMENT BY USE OF ACOUSTIC RESONATORS IN CW ULTRASONIC SPECTROSCOPY
MILLER, JG
BOLEF, DI
[J]. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1968, 39 (10) : 4589 - &
[4] PULKER H, 1967, 14 AVS NAT VAC S, P79
[5] VERWENDUNG VON SCHWINGQUARZEN ZUR WAGUNG DUNNER SCHICHTEN UND ZUR MIKROWAGUNG
SAUERBREY, G
[J]. ZEITSCHRIFT FUR PHYSIK, 1959, 155 (02): : 206 - 222
[6] SAUERBREY GZ, 1957, PHYS VERHANDLUNG, V8, P193
[7] Stockbridge C.D., 1966, VACUUM MICROBALANCE, V5
[8] STRULT JW, 1945, THEORY SOUND, P117