THE USE OF AN INTERFERENCE MICROSCOPE FOR MEASUREMENT OF EXTREMELY THIN SURFACE LAYERS

被引:45
作者
BOND, WL
SMITS, FM
机构
来源
BELL SYSTEM TECHNICAL JOURNAL | 1956年 / 35卷 / 05期
关键词
D O I
10.1002/j.1538-7305.1956.tb03825.x
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:1209 / 1221
页数:13
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