THERMALIZATION OF SPUTTERED ATOMS

被引:219
作者
MEYER, K
SCHULLER, IK
FALCO, CM
机构
关键词
D O I
10.1063/1.329473
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:5803 / 5805
页数:3
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