SURFACE DAMAGE TO INP SUBSTRATES DURING R.F. SPUTTERING

被引：10

作者：

PEARSALL, NM

COUTTS, TJ

HILL, R

RUSSELL, GJ

LAWSON, KJ

机构：

[1] UNIV DURHAM,DEPT APPL PHYS,DURHAM DH1 3HP,ENGLAND

[2] CRANFIELD INST TECHNOL,DEPT MAT,CRANFIELD MK43 0AL,BEDFORDSHIRE,ENGLAND

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(81)90221-2

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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