MASS DEPENDENCE OF THE SPUTTERING YIELD - BOUNDARY EFFECT

被引：6

作者：

IMADA, M

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1143/JPSJ.45.1957

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

引用

页码：1957 / 1964

页数：8

共 15 条

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