CORRECTION

被引:2
作者
BUTTERBAUGH, JW
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1992年 / 10卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.578192
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:578 / 579
页数:2
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共 1 条
[1]   MEASUREMENT AND ANALYSIS OF RADIO-FREQUENCY GLOW-DISCHARGE ELECTRICAL-IMPEDANCE AND NETWORK POWER LOSS [J].
BUTTERBAUGH, JW ;
BASTON, LD ;
SAWIN, HH .
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, 1990, 8 (02) :916-923