SIMPLE FLYING SPOT SCANNER DESIGN FOR ELECTRON LITHOGRAPHY

被引：3

作者：

MELLIARSMITH, CM ^{[1
]}

STORM, AR ^{[1
]}

机构：

[1] BELL TEL LABS, MURRAY HILL, NJ 07974 USA

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1686370

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：1282 / 1285

页数：4

共 6 条

[1]

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THOMPSON LF, TO BE PUBLISHED