INDUSTRIAL DEPOSITION OF BINARY, TERNARY, AND QUATERNARY NITRIDES OF TITANIUM, ZIRCONIUM, AND ALUMINUM

被引：256

作者：

KNOTEK, O

MUNZ, WD

LEYENDECKER, T

机构：

[1] FA LEYBOLD HERAEUS GMBH,D-6450 HANAU 1,FED REP GER

[2] CEMECOAT GMBH,ZENTRUM TECHNOL,D-5100 AACHEN,FED REP GER

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.574948

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：2173 / 2179

页数：7

共 27 条

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