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THERMAL-EQUILIBRIUM DEFECTS IN HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON BASED ALLOY-FILMS
被引：3
作者：
XU, XX
MORIMOTO, A
KUMEDA, M
SHIMIZU, T
机构：
来源：
AMORPHOUS SILICON TECHNOLOGY - 1989
|
1989年
/
149卷
关键词：
D O I：
10.1557/PROC-149-143
中图分类号：
O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];
学科分类号：
070304 ;
081704 ;
摘要：
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页码：143 / 148
页数：6
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