PREPARATION OF GERMANIUM NITRIDE FILMS ON STAINED GERMANIUM CRYSTAL SURFACE

被引:13
作者
IGARASHI, Y
KURUMADA, K
NIIMI, T
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.7.300
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:300 / &
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