STUDY ON MAXIMUM TOLERABLE PRESSURE IN A RESIDUAL GAS ANALYZER

被引:5
作者
WERNER, HW [1 ]
LINSSEN, AJ [1 ]
机构
[1] NV PHILIPS GLOEILAMPENFABRIEKEN,PHILIPS RES LABS,EINDHOVEN,NETHERLANDS
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.1312765
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:843 / 847
页数:5
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