ION-ETCH CHARACTERISTICS OF EPITAXIAL COPPER ON SAPPHIRE

被引：5

作者：

KATZ, G

机构：

来源：

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE | 1970年 / 5卷 / 09期

关键词：

D O I：

10.1007/BF00562158

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：736 / &

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