STUDY OF THE ACTIVATION OF NON-EVAPORABLE GETTERS

被引：18

作者：

LAMPERT, WV

RACHOCKI, KD

LAMARTINE, BC

HAAS, TW

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 18卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.570853

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1121 / 1124

页数：4

共 6 条

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