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CERAMIC THIN-FILMS FROM CLUSTER BEAMS

被引：1
作者：
BRAND, JI
MILLER, DR
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1988年 / 6卷 / 03期
关键词：
D O I：
10.1116/1.575291
中图分类号：
TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ; 080502 ;
摘要：
引用
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页码：1770 / 1771
页数：2
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共 5 条
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