PLASMA SILICON NITRIDING AND IRON BORIDING

被引：8

作者：

GIFFORD, FE ^{[1
]}

机构：

[1] GM,RES LABS,WARREN,MI 48090

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1973年 / 10卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318048

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：85 / 88

页数：4

共 15 条

[1]

CAFFREY RE, 1971, BELL LAB REC, P39

[2]

FLETCHER FJ, 1971, 64 ANN M AM I CHEM E

[3]

FORGENG WD, 1958, T AM I MIN MET ENG, V212, P343

[4] DIFFUSION OF BORON AND PHOSPHORUS INTO SILICON [J].

FULLER, CS ;

DITZENBERGER, JA .

[5] NATURE OF BORON IN ALPHA-IRON [J].

HAYASHI, Y ;

SUGENO, T .

ACTA METALLURGICA, 1970, 18 (06) :693-&

[6] NITROGEN IN SILICON [J].

KAISER, W ;

THURMOND, CD .

[7]

KUNST H, 1969, HARTEREI TECHN MITT, V22, P275

[8]

Kunst H., 1967, HAERTEREI TECH MITT, V22, P1

[9]

LERNER RM, UNPUBLISHED

[10]

LESLIE WC, 1959, PUB AM IRON STEEL I, P20