COMPUTER-SIMULATION OF THE BACKSCATTERING AND IMPLANTATION OF HYDROGEN AND HELIUM

被引：38

作者：

ECKSTEIN, W ^{[1
]}

VERBEEK, H ^{[1
]}

BIERSACK, JP ^{[1
]}

机构：

[1] HAHN MEITNER INST KERNFORSCH BERLIN GMBH,D-1000 BERLIN 39,FED REP GER

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.327687

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1194 / 1200

页数：7

共 16 条

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