PROPERTIES OF SPUTTERED NITRIDE SEMICONDUCTORS

被引:42
作者
TANSLEY, TL
EGAN, RJ
HORRIGAN, EC
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(88)90174-5
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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