共 1 条
[1]
PASIECZNIK J, 1978, J VAC SCI TECHNOL, V14, P909
ADVANCES IN HIGH-PRECISION SAMPLE POSITIONING STAGES FOR ELECTRON-BEAM MICROFABRICATION AND METROLOGY
被引：2
作者：
PASIECZNIK, J
REEDS, JW
FRALICK, RD
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY
|
1979年
/
16卷
/
06期
关键词：
D O I：
10.1116/1.570301
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
收藏
页码：1815 / 1818
页数：4
相关论文