PREPARATION OF STANDARDS FOR THIN-FILM THICKNESS MEASUREMENTS BY ENERGY DISPERSIVE-X-RAY ANALYSIS

被引：11

作者：

KAMMLOTT, GW

机构：

来源：

APPLIED SPECTROSCOPY | 1981年 / 35卷 / 03期

关键词：

Compendex;

D O I：

10.1366/0003702814732689

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

THICKNESS MEASUREMENT

引用

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页码：324 / 328

页数：5

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共 5 条

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