PROXIMITY-EFFECT CORRECTION WITH LINEAR-PROGRAMMING

被引：7

作者：

CARROLL, AM

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.329802

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：434 / 437

页数：4

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共 6 条

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