提高CCD用于非接触式检测小尺寸精度的研究及其模拟实验

电荷耦合器件（CCD）是七十年代初发展起来的一种新型半导体固体摄像 器件，具有体积小、重量轻、寿命长、响应速度快、可靠性高、灵敏度高、动 态范围广、易与计算机连接、操作容易、维护简便等特点，一经问世就受到诸 多的关注，使它在军事及民用领域占有一席重要的地位。 随着科学技术的发展，特别是近代电子技术的发展，使几何量测量技术向 着高精度、高效率、自动化、动态检测和自适应控制方向发展。将CCD应用 于几何量测量可以实现高精度、高效率、自动化、动态检测、非接触测量等要 求，尤其对小尺寸的测量具有很强的优势。 论文首先介绍了CCD的发展概况及CCD应用于小尺寸测量的意义，然后 通过对驱动电路的设计，光学系统的分析，以及对视频信号处理方法的研究， 从理论上和参数设计上对如何提高CCD检测小尺寸测量精度的问题进行了深 入的分析，最后通过模拟试验对前述理论分析结论提供数据支持。