光学式非接触厚度-微位移测量仪的研制

在计算机控制下，光、机、电相结合的微厚测量仪，不仅能实现高精度、高效率的非接触测量，不破坏被测物体表面，而且易于实现动态采样、实时处理、在线测量等自动化要求，因而在现代化的工业测量中将具有广泛的应用和前景。 光学式非接触厚度-微位移测量仪是在激光三角测量法的基础上实现的，在本研究方案中，根据象点在PSD上的移动量建立与被测物厚度-微位移变化之间的数学模型，通过对象点位置变化的计算，实现被测物厚度-微位移变化量的测量。 本文重点阐述了光学式非接触厚度-微位移测量仪的工作原理，并对测量仪的工作过程进行了分析；对影响测量精度的因素做了讨论。同时对仪器的软、硬件进行了设计，制成了一台原理样机。应用该测量仪对厚度-微位移测量进行了多项实测，对测试数据作了分析和讨论，取得了比较满意的结果，达到了设计要求。 该测量仪的分辨力小于0.2m，量程1000m。