磁悬浮硬盘转子动态位移涡流检测系统研究

磁悬浮轴承由于具有一系列独特的性能，被称为是支承技术的一场革命。将磁悬浮轴承应用于硬盘的支承，完全消除轴承与硬盘转子的机械接触，使硬盘具有其它轴承支承的硬盘无法企及的特点。在磁悬浮硬盘设计中，传感器检测的转子位移信号是控制器对轴承进行主动控制的依据，是整个系统研究的重点和难点之一。本文主要目的是：针对普通涡流位移传感器应用于磁悬浮硬盘、光盘这类微型转子五自由度位移测量时所面临的问题，设计能够准确有效检测转子动态位移的检测系统。 在介绍涡流位移传感器的基本理论的基础上，分析了传感器探头线性特性、温度特性、动态特性的影响因素。从探头线圈Q值对线性特性的影响；探头直径对线性的影响；探头线圈电阻对温度特性的影响；激励信号温度特性的影响：检测线圈階振回路动态响应特性等方面分析并提出制作高质量传感器探头的改进措施。 介绍了研制的传感器信号处理模块电路，对电路中的重要部分如：高稳振荡源的设计、检波电路设计、滤波电路设计等都有详细说明。对电路进行调试并给出关键环节调试结果。调试结果表明：该电路能较好的对转子的动态位移信号进行处理。 对磁悬浮转子位移检测系统的集成作了一定的探讨，提出基于智能芯片的系统集成设计方案。为以后传感器进行多参数检测及智能化打下基础。 论文最后在总结全文的基础上，对该项研究的发展进行了展望。