液晶屏成盒后电测与亮点检出机理研究

成盒后电测是整个TFT-LCD制程中一个重要的环节。它作为对液晶屏成盒后的第一次加电检测,可以保证在进行后续工艺前对不良品进行一次筛选,避免不良品浪费后续的耗材。 本文通过研究成盒后电测信号的驱动模式,建立Switch的结构模型,并对成盒后电测与模块电测电压大小的差异分析,提出成盒后电测信号的改善方案：降低Common电压,并对其进行验证。之后重点对于Cell成盒后最主要的一大漏检——亮点进行失效模式分析,得出其可能漏检原因,提出两个改善方案：放电画面检测方案以及Gate信号修改方案,通过实际验证,确认方案的改善效果并对其进行改进。 经过产线实际确认,降低Common电压与Gate信号修改方案效果明显,前者可以提高所有不良检出率约0.2%,而后者可以提高亮点检出率0.15%,预计可带来年收益75万元。