研磨垫及研磨垫的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380026114.7

申请日：

2013-03-26

公开(公告)号：

CN104321370B

公开(公告)日：

2015-01-28

发明(设计)人：

立野哲平宫坂博仁松冈立马金泽香枝宫泽文雄

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C08J514

IPC分类号：

B24B3724 H01L21304

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

钟晶;於毓桢

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-07-07	授权	授权
2015-03-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101602709310 IPC(主分类):C08J 5/14 专利申请号:2013800261147 申请日:20130326
2015-01-28	公开	公开

共 50 条

[1]

研磨垫、研磨垫的制造方法及研磨方法 [P].

王裕标 ;

陈忆萍 .

中国专利 :CN110385640A ,2019-10-29

[2]

研磨垫、研磨垫的制造方法及研磨方法 [P].

王裕标 .

中国专利 :CN109420974B ,2019-03-05

[3]

研磨垫及研磨垫的制造方法 [P].

小川一幸 ;

下村哲生 ;

数野淳 ;

中井良之 ;

渡边公浩 ;

山田孝敏 ;

中森雅彦 .

中国专利 :CN101659036A ,2010-03-03

[4]

研磨垫及研磨垫的制造方法 [P].

小川一幸 ;

下村哲生 ;

数野淳 ;

中井良之 ;

渡边公浩 ;

山田孝敏 ;

中森雅彦 .

中国专利 :CN101072657B ,2007-11-14

[5]

研磨垫及研磨垫的制造方法 [P].

向史博 ;

田浦歳和 .

中国专利 :CN106457523A ,2017-02-22

[6]

研磨垫及研磨垫的制造方法 [P].

小川一幸 ;

下村哲生 ;

数野淳 ;

中井良之 ;

渡边公浩 ;

山田孝敏 ;

中森雅彦 .

中国专利 :CN101659035A ,2010-03-03

[7]

研磨垫及研磨垫的制造方法 [P].

小川一幸 ;

下村哲生 ;

数野淳 ;

中井良之 ;

渡边公浩 ;

山田孝敏 ;

中森雅彦 .

中国专利 :CN102554766A ,2012-07-11

[8]

研磨垫及研磨垫的制造方法 [P].

高木大辅 ;

西藤和夫 ;

田浦歳和 .

中国专利 :CN107614202B ,2018-01-19

[9]

研磨垫、研磨装置及研磨垫的制造方法 [P].

冯崇智 ;

姚伊蓬 ;

洪永璋 ;

蔡坤成 .

中国专利 :CN103817590A ,2014-05-28

[10]

研磨垫、研磨装置及制造研磨垫的方法 [P].

冯崇智 ;

姚伊蓬 ;

洪永璋 ;

吴文杰 .

中国专利 :CN104552034A ,2015-04-29

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