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宽范围微压力传感器
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880084772.4
申请日：
2018-10-22
公开(公告)号：
CN111656150B
公开(公告)日：
2020-09-11
发明(设计)人：
S.A.马什
申请人：
申请人地址：
美国马萨诸塞州
IPC主分类号：
G01L700
IPC分类号：
G01L912
G01L1906
G01L1914
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
张邦帅
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-09-11 | 公开 | 公开 |
| 2022-05-03 | 授权 | 授权 |
| 2020-11-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 7/00 申请日:20181022 |