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一种晶圆加工用可调式定位夹具
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022495967.5
申请日：
2020-11-02
公开(公告)号：
CN213647161U
公开(公告)日：
2021-07-09
发明(设计)人：
殷泽安
殷志鹏
申请人：
申请人地址：
215143 江苏省苏州市相城区黄埭镇春旺路12号
IPC主分类号：
B24B4106
IPC分类号：
B28D704
代理机构：
北京化育知识产权代理有限公司 11833
代理人：
尹均利
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-09 | 授权 | 授权 |