一种真空磁控镀膜装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN202320929353.4
申请日
2023-04-23
公开(公告)号
CN220537896U
公开(公告)日
2024-02-27
发明(设计)人
姜建峰
申请人
赫得纳米科技(昆山)有限公司
申请人地址
215334 江苏省苏州市昆山开发区高科技工业园都市路21号
IPC主分类号
C23C14/35
IPC分类号
C23C14/50
代理机构
北京中安信知识产权代理有限公司 11248
代理人
周淑昌
法律状态
授权
国省代码
江苏省 苏州市
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共 50 条
[1]
一种真空磁控镀膜机 [P]. 
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邹明阳 ;
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朱永亮 ;
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[3]
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[6]
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[10]
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赵子东 .
中国专利 :CN201326009Y ,2009-10-14