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一种石英舟翻转装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322139928.5
申请日：
2023-08-09
公开(公告)号：
CN220474599U
公开(公告)日：
2024-02-09
发明(设计)人：
戴军
罗银兵
王政诗
申请人：
罗博特科智能科技股份有限公司
申请人地址：
215000 江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/673
H01L31/18
代理机构：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257
代理人：
汤婧怡
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
苏州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-09 | 授权 | 授权 |