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流量控制器、气体供给系统以及流量控制方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980015362.9
申请日：
2019-06-26
公开(公告)号：
CN111758153B
公开(公告)日：
2024-04-16
发明(设计)人：
泽地淳
申请人：
东京毅力科创株式会社
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21/3065
IPC分类号：
G05D7/06
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-04-16 授权 授权
共 50 条
[1]
流量控制器、气体供给系统以及流量控制方法 [P]. 
泽地淳 .
中国专利 :CN111758153A ,2020-10-09
[2]
一种流量控制方法以及流量控制器 [P]. 
邓锋 .
中国专利 :CN102546412A ,2012-07-04
[3]
质量流量控制器及其流量控制方法 [P]. 
陈琦 ;
张海洋 ;
邹义涛 .
中国专利 :CN120653023A ,2025-09-16
[4]
质量流量控制器和流量控制方法 [P]. 
米田丰 ;
田中祐纪 .
中国专利 :CN102467132A ,2012-05-23
[5]
流量控制方法和质量流量控制器 [P]. 
邹义涛 ;
张海洋 ;
赵迪 .
中国专利 :CN119105560A ,2024-12-10
[6]
质量流量控制器及其流量控制方法 [P]. 
邹义涛 ;
赵迪 .
中国专利 :CN115454153A ,2022-12-09
[7]
质量流量控制器及其流量控制方法 [P]. 
邓博文 ;
牟昌华 ;
邹义涛 .
中国专利 :CN117850483A ,2024-04-09
[8]
气体流量控制器 [P]. 
李明泰 .
中国专利 :CN2171130Y ,1994-07-06
[9]
气体流量控制器 [P]. 
白井滋 ;
山本芳雄 ;
长冈行夫 .
中国专利 :CN1008552B ,1987-12-09
[10]
气体流量控制器 [P]. 
陈乡 ;
廖文胜 ;
贾皓 ;
王立民 ;
向国先 .
中国专利 :CN309049476S ,2025-01-03
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