晶圆金属元素分析方法及分析系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410101481.9

申请日：

2024-01-25

公开(公告)号：

CN117637591A

公开(公告)日：

2024-03-01

发明(设计)人：

刘云刘波余学会陆潇波

申请人：

合肥晶合集成电路股份有限公司

申请人地址：

230000 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/66 G01N1/32 G01N1/20 G01N15/02 G01N33/00

代理机构：

上海汉之律师事务所 31378

代理人：

胡雨

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

天津市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-19	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20240125
2024-03-01	公开	公开
2024-04-19	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆金属元素分析方法及分析系统 [P].

刘云 ;

刘波 ;

余学会 ;

陆潇波 .

中国专利 :CN117637591B ,2024-04-19

[2]

金属元素分析装置和方法 [P].

闻路红 ;

张新荣 ;

李刚强 ;

甘剑勤 ;

洪欢欢 .

中国专利 :CN118032450A ,2024-05-14

[3]

金属元素分析仪 [P].

李兴飞 .

中国专利 :CN212433020U ,2021-01-29

[4]

金属元素分析仪 [P].

朱明 .

中国专利 :CN2743830Y ,2005-11-30

[5]

一种晶圆表面贵金属元素的富集方法及分析方法 [P].

邹志文 ;

张俊浩 ;

衡科技 ;

程实然 ;

孟庆国 ;

崔虎山 ;

许开东 .

中国专利 :CN117347148A ,2024-01-05

[6]

一种用于晶圆金属元素分析装置的安装机架 [P].

鉏晨涛 ;

陆城燕 ;

朱琪 .

中国专利 :CN220542837U ,2024-02-27

[7]

真空涡流电离源及金属元素分析质谱仪 [P].

张利军 ;

胡淑娟 ;

樊后鸿 ;

张磊 .

中国专利 :CN117894666A ,2024-04-16

[8]

碳硫自动分析方法及与多金属元素分析的组合仪器 [P].

孙家良 ;

孙笑欢 .

中国专利 :CN1869709A ,2006-11-29

[9]

光电比色金属元素分析仪 [P].

夏赞贵 ;

邢小桃 .

中国专利 :CN201368846Y ,2009-12-23

[10]

金属元素自动分析仪 [P].

张新申 ;

蒋小萍 .

中国专利 :CN2620871Y ,2004-06-16

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