一种压电衬底结构及其制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN202410026551.9
申请日
2024-01-09
公开(公告)号
CN117545337B
公开(公告)日
2024-04-09
发明(设计)人
母凤文 郭超 于佳杨
申请人
北京青禾晶元半导体科技有限责任公司 青禾晶元(晋城)半导体材料有限公司
申请人地址
100083 北京市海淀区花园北路25号小关(厂南区)4号楼1层146
IPC主分类号
H10N30/00
IPC分类号
H10N30/05
代理机构
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人
康欢欢
法律状态
公开
国省代码
北京市
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共 50 条
[1]
一种压电衬底结构及其制备方法 [P]. 
母凤文 ;
郭超 ;
于佳杨 .
中国专利 :CN117545337A ,2024-02-09
[2]
一种滤波器用压电衬底结构及其制备方法 [P]. 
李洋洋 ;
李真宇 ;
杨超 ;
张涛 .
中国专利 :CN113922778B ,2022-01-11
[3]
一种复合压电衬底及其制备方法和应用 [P]. 
母凤文 ;
郭超 ;
刘福超 ;
谭向虎 .
中国专利 :CN119173124A ,2024-12-20
[4]
一种POI衬底及其制备方法和应用 [P]. 
杨凯 ;
薛成龙 ;
柏文文 ;
王含冠 ;
杨朋辉 ;
刘培森 ;
肖博远 ;
周鑫辰 ;
高嘉骏 ;
华千慧 ;
国洪辰 ;
崔健 .
中国专利 :CN120041927A ,2025-05-27
[5]
一种复合压电衬底及其制备方法和应用 [P]. 
宋永军 ;
刘福超 ;
母凤文 ;
谭向虎 .
中国专利 :CN119300697A ,2025-01-10
[6]
一种复合压电衬底及其制备方法 [P]. 
母凤文 ;
黄秀松 ;
高文琳 ;
郭超 .
中国专利 :CN117750868B ,2024-05-10
[7]
一种复合压电衬底及其制备方法 [P]. 
母凤文 ;
黄秀松 ;
高文琳 ;
郭超 .
中国专利 :CN117750868A ,2024-03-22
[8]
一种复合压电衬底及其制备方法 [P]. 
李真宇 ;
杨超 .
中国专利 :CN111816756A ,2020-10-23
[9]
一种压电复合薄膜及其制备方法 [P]. 
李真宇 ;
朱厚彬 ;
张秀全 ;
杨超 ;
李洋洋 .
中国专利 :CN113540338A ,2021-10-22
[10]
一种氧化镓压电衬底及其制备方法 [P]. 
王孟源 ;
蒋将 .
中国专利 :CN118944625A ,2024-11-12