碱金属化合物的蚀刻

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280047698.5

申请日：

2022-06-08

公开(公告)号：

CN117716063A

公开(公告)日：

2024-03-15

发明(设计)人：

尼廷·迪帕克塔帕什·查克拉博蒂普雷纳·桑塔利亚·戈拉迪亚维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南奈尔施·奇尔曼奥·巴古巴扈巴利·S·乌帕德亚

申请人：

应用材料公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C16/44

IPC分类号：

C09K13/00

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;吴启超

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-15	公开	公开
2024-06-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/44申请日:20220608

共 50 条

[1]

有机碱金属化合物和有机过渡金属化合物的制造方法 [P].

佐久间笃 ;

船谷宗人 .

中国专利 :CN101874033B ,2010-10-27

[2]

烷氧基碱金属化合物制备装置 [P].

李绍通 ;

毛冲 ;

王霹霹 ;

戴晓兵 ;

冯攀 ;

韩晖 .

中国专利 :CN117339527A ,2024-01-05

[3]

烷氧基碱金属化合物制备装置 [P].

李绍通 ;

毛冲 ;

王霹霹 ;

戴晓兵 ;

冯攀 ;

韩晖 .

中国专利 :CN221433021U ,2024-07-30

[4]

从聚合物胶泥中除去碱金属化合物 [P].

Z·迪亚兹 ;

J·D·威尔基 .

中国专利 :CN1161341A ,1997-10-08

[5]

处理含有碱金属化合物的燃料的方法和设备 [P].

吕清刚 ;

朱治平 ;

宋国良 ;

张海霞 ;

高鸣 ;

于旷世 ;

那永洁 .

中国专利 :CN105238442A ,2016-01-13

[6]

制备碱金属悬浮液及有机碱金属化合物溶液的设备及方法 [P].

刘青 ;

陈德森 ;

李传清 ;

靳之晔 ;

任晓兰 .

中国专利 :CN1182656A ,1998-05-27

[7]

低堆积密度空心碱金属化合物细粉的生产方法 [P].

窪谷笃芳 ;

石桥修 ;

小野功一 .

中国专利 :CN1127676A ,1996-07-31

[8]

金属化合物 [P].

崔善美 ;

姜宣宇 .

中国专利 :CN112940027A ,2021-06-11

[9]

一种碱金属化合物催化合成丙交酯的工艺方法 [P].

江伟 ;

张延凯 ;

孙平 ;

李爱民 ;

陈金龙 ;

张全兴 .

中国专利 :CN110105325A ,2019-08-09

[10]

碱金属钛酸盐化合物的制备方法 [P].

堀直通 ;

上岛伸夫 .

中国专利 :CN101827787A ,2010-09-08

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